Fabrication Et Caractérisation de Mems Résonant - Palaiseau, France - Université Paris-Saclay GS Sciences de l'ingénierie et des systèmes

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Entreprise vérifiée
Palaiseau, France

il y a 1 semaine

Sophie Dupont

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Sophie Dupont

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Description
**FABRICATION ET CARACTÉRISATION DE MEMS RÉSONANT POUR DES APPLICATIONS CAPTEURS // FABRICATION AND CHARACTERIZATION OF RESONANT MEMS FOR SENSING APPLICATIONS**:

- Réf **ABG-120260**
**ADUM-53426**
- Sujet de Thèse- 13/02/2024- Université Paris-Saclay GS Sciences de l'ingénierie et des systèmes- Lieu de travail- Palaiseau - France- Intitulé du sujet- FABRICATION ET CARACTÉRISATION DE MEMS RÉSONANT POUR DES APPLICATIONS CAPTEURS // FABRICATION AND CHARACTERIZATION OF RESONANT MEMS FOR SENSING APPLICATIONS- Mots clés- capteur magnétique, Capteur résonant, Perovskite, piezoelectrique, Microfabrication
- Magnetic sensor, resonant sensor, perovskite, piezoelectric, Microfabrication**Description du sujet**:

- Au sein de l'équipe OXIDE du C2N, une partie des activités de recherche consiste à exploiter des matériaux oxydes de structure pérovskite pour la réalisation de micro-dispositifs. Cet aspect a été exploité notamment pour le développement de capteurs [1-2] mais également pour des études plus fondamentales visant à la compréhension des propriétés physiques de cette classe de matériaux élaborés en couches minces [3-4].
- Du point de vue capteur et avec pour objectif de palier à la nécessaire réduction en taille des dispositifs, et donc des signaux à mesurer, nous avons récemment évolué vers des dispositifs où la grandeur mesurée est la fréquence de résonance d'un élément vibrant, ce qui permet de gagner en sensibilité dès lors que certains paramètres du capteur sont correctement dimensionnés.
- La réalisation de MEMS (Micro Electro-Mechanical Systems) à base d'oxydes cristallins est rendue possible par leur intégration sur des substrats de silicium, pour lesquels les procédés de micro-structuration sont particulièrement matures. Une approche innovante pour cette étape d'intégration sur silicium réside dans l'utilisation de nano-feuillets qui permet une croissance d'oxydes en couches minces de haute qualité structurale de manière simple [6].Within the C2N OXIDE team, part of the research activities consists in taking advantage of oxide materials with perovskite structure for the production of micro-devices. This aspect has been exploited in particular for the development of sensors [1-2] but also for more fundamental studies aimed at understanding the physical properties of this class of materials produced in thin layers [3-4].
- From the sensor point of view and with the objective of bearing the necessary reduction in size of the devices, and therefore of the signals to be measured, we have recently evolved towards devices where the quantity measured is the resonance frequency of a vibrating element, thus allowing to gain in sensitivity when certain parameters of the sensor are correctly sized.
- The production of MEMS (Micro Electro-Mechanical Systems) based on crystalline oxides is made possible by their integration on silicon substrates, for which the micro-structuring processes are particularly mature. An innovative approach for this integration step on silicon lies in the use of nano-sheets which allows a growth of oxides in thin layers of high structural quality in a simple way [6].Début de la thèse : 01/10/2024**Nature du financement**:
**Précisions sur le financement**:

- Contrats ED : Programme blanc GS-SIS**Présentation établissement et labo d'accueil**:

- Université Paris-Saclay GS Sciences de l'ingénierie et des systèmes**Etablissement délivrant le doctorat**:

- Université Paris-Saclay GS Sciences de l'ingénierie et des systèmes**Ecole doctorale**:

- 575 Electrical, Optical, Bio-physics and Engineering- Recherche bibliographique - Connaissance en physico-chimie des matériaux - Travail collaboratif et en équipe - Aisance au travail expérimental - Rédaction et présentation de rapports d'avancement
- Bibliographic researches - Physico-chemistry of materials - Collaborative work - Experimental work - writing and oral presentation of activity reports-
- 15/04/2024
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